X射線熒光光譜儀的發展歷史，最早可以追溯到1895年，德國物理學家威廉·康拉德·倫琴于這一年11月發現并識別出了X射線，因此，X射線在許多國家也被稱之為倫琴射線。
 

　　隨后在1909年，英國物理學家查爾斯·格洛弗·巴克拉發現了從樣本中輻射出來的X射線與樣品原子量之間的聯系;四年之后，也即在1913年，同樣來自英國的物理學家亨利·莫斯萊發現了一系列元素的標識譜線(特征譜線)與該元素的原子序數存在一定的關系。
 

　　這些發現都為人們后期根據原子序數而不是根據原子量大小提煉元素周期表奠定了基礎，同樣也為人們建立起第一個X射線熒光光譜儀(XRF)打下了堅實的理論基礎。然而，直到1948年，Herbert Friedman 和Laverne Stanfield Birks才建立起一臺X射線熒光光譜儀，這為后續光譜儀的商業化使用開辟了道路。
 

　　通常把X射線照射在物質上而產生的次級X射線叫做X射線熒光(X-Ray Fluorescence)，而把用來照射的X射線稱為原級X射線，所以X射線熒光光譜儀仍然屬于X射線范疇。
 

　　一臺典型的X射線熒光光譜儀主要由激發源(X射線管)和探測系統構成。X射線管主要負責產生入射X射線(一次X射線)，隨后該射線對被測樣品進行激發，受激發的樣品中的每一種元素在被激發后會放射出二次X射線，但樣品中元素種類的不同以及它們吸收外部X射線能量的多少都會影響到它們發射出的二次X射線的輻射能量大小(類似于可見光的顏色)，不同類型的元素都會發出不同的能量或者顏色，因此不同的元素所放射出的二次X射線都具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量信息，隨后儀器軟件將該探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量等信息。
 

　　值得一提的是，X射線熒光光譜儀分析技術是一種非侵入式、能夠對不同材料中的化學組成實現快速分析的無損檢測技術。這些特性使得該分析技術在許多方面都更加實用且更具優勢。其主要應用范圍包括：金屬合金材料的可靠性鑒別(PMI)、危險品檢測、材料驗證以及司法科學等方面。
 

　　近年來，X射線熒光光譜儀分析技術的進步主要體現在儀器成本的降低和體積尺寸的減小，這些進步均有效的擴大了XRF的使用范圍。
 

　　68年后，一種新型的X射線熒光技術誕生
 

　　第一個受益于這種新型X射線熒光技術的無疑是制造業、機械加工、金屬加工、廢品回收以及鋼鐵回收等行業中的質量管理部門，對于這幾個行業，幾乎所有人都會非常關心他們產品的質量問題。
 

　　此外，一些先前因為成本高昂而從未考慮過使用X射線光譜分析技術的領域也能受益于此并開始使用XRF，包括航空航天、汽車和醫療儀器等行業。